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2020年2月27日

特許出願のお知らせ

以下の出願をいたしました。

【発明の名称】電子部品の製造装置

【出願番号】16/738,374

 

【発明の名称】粉体の成膜方法、粉体成膜用容器及びALD装置

【出願番号】109102139