人工智能机器人技术Technologies / AI Coating system
人工智能机器人可在最短的时间内，以最佳条件对镀膜条件和成分优化进行预测分析（贝叶斯分析）实施镀膜～物性评估，是最尖端的数字化制造技术。
AICO (AI Coating System)
气相技术：使用 AI 在最短时间内优化设备特性
镀膜⇔测量的
自治制程
使用基础估计
对多维参数进行预测
减少条件搜索的
成本和时间
基本規格
| 容器尺寸 | φ 0.5 × H 0.2 m |
|---|---|
| 能达到的真空度 | 5.0 × 10-6 Pa |
| 可镀膜类型 | BaTiO3、LiPON、Al2O3 |
| 对应晶圆 | 8～12 inch |
| 可镀膜厚度 | 1～30 nm |
| 可镀膜速度 | 0.1 nm/cycle |
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