人工智能机器人技术Technologies / AI Coating system


人工智能机器人可在最短的时间内,以最佳条件对镀膜条件和成分优化进行预测分析(贝叶斯分析)实施镀膜~物性评估,是最尖端的数字化制造技术。

AICO (AI Coating System)

气相技术:使用 AI 在最短时间内优化设备特性

镀膜⇔测量的
自治制程

使用基础估计
对多维参数进行预测

减少条件搜索的
成本和时间

aico_gas_ex_zhcn

基本規格

容器尺寸φ 0.5 × H 0.2 m
能达到的真空度5.0 × 10-6 Pa
可镀膜类型BaTiO3、LiPON、Al2O3
对应晶圆8~12 inch
可镀膜厚度1~30 nm
可镀膜速度0.1 nm/cycle
※ 有关详细信息(http://cai-robotics.co.jp/),请参阅此处或联系我们。
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