人工智能机器人技术Technologies / AI Coating system 人工智能机器人可在最短的时间内,以最佳条件对镀膜条件和成分优化进行预测分析(贝叶斯分析)实施镀膜~物性评估,是最尖端的数字化制造技术。 AICO (AI Coating System) 气相技术:使用 AI 在最短时间内优化设备特性 镀膜⇔测量的自治制程 使用基础估计对多维参数进行预测 减少条件搜索的成本和时间 基本規格 容器尺寸φ 0.5 × H 0.2 m 能达到的真空度5.0 × 10-6 Pa 可镀膜类型BaTiO3、LiPON、Al2O3 对应晶圆8~12 inch 可镀膜厚度1~30 nm 可镀膜速度0.1 nm/cycle ※ 有关详细信息(http://cai-robotics.co.jp/),请参阅此处或联系我们。