人工智慧機器人技術Technologies / AI Coating system


具有人工智慧的機器人可在最短的時間內,以最佳條件對鍍膜條件和成分優化進行預測分析(貝葉斯分析)實施鍍膜~物性評估,是最尖端的數位化製造技術。

AICO (AI Coating System)

氣相:使用 AI 在最短時間內優化元件特性

鍍膜⇔測量的
自主化製程

使用貝葉斯演算對
多維參數進行預測

減少搜索條件的
成本和時間

aico_gas_ex_zn

基本规格

容器尺寸φ 0.5 × H 0.2 m
可達到的真空度5.0 × 10-6 Pa
可鍍膜種類BaTiO3、LiPON、Al2O3
對應晶圓尺寸8~12 inch
可鍍膜厚度 1~30 nm
可鍍膜速度0.1 nm/cycle

※ 有關詳細信息,請參閱此處(http://cai-robotics.co.jp/)或聯繫我們。

TOP