인공 지능(AI) 로보틱스 기술Technologies / AI Coating system


로봇이 성막~물성 평가를 실시해, 성막 조건이나 조성의 최적화까지를 AI가 예측 분석해

(베이스 분석)해 최적의 조건을 최단 가능하게 하는, 디지털 제조 기술입니다.

 

AICO (AI Coating System)

기상기술×AI에 의한 최단시간 디바이스 특성 최적화

성막⇔계측의 자율화 프로세스

베이스 추정을 이용한 다차원 파라미터에 대한 예측

조건 탐색을 위한 비용과 시간을 단축

aico_gas_ex12

기본사양

용기 사이즈 φ 0.5 × H 0.2 m
도달 진공도 5.0 × 10-6 Pa
성막 가능 막종류 BaTiO3、LiPON、Al2O3
대응 웨이퍼 8~12 inch
성막 가능 막두께 1~30 nm
성막 속도 0.1 nm/cycle

※ 상세한 사항은 여기를 참조하시거나(http://cai-robotics.co.jp/), 당사로 문의해 주십시오.

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