AIロボティクス技術事業Technologies / AI Coating system


ロボットが成膜~物性評価を行い、成膜条件や組成の最適化までをAIが予測分析し(ベイズ分析)し最適な条件を最短可能にする、デジタルものづくり技術です。

AICO (AI Coating System)

気相技術×AIによる最短でのデバイス特性の最適化

成膜⇔計測の
自律化プロセス

ベイズ推定を用いた
多次元パラメータに対する予測

条件探索のための
コストと時間を短縮

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基本仕様

容器サイズφ 0.5 × H 0.2 m
到達真空度5.0 × 10-6 Pa
成膜可能膜種BaTiO3、LiPON、Al2O3
対応ウェハ8~12 inch
成膜可能膜厚1~30 nm
成膜速度0.1 nm/cycle

※ 詳細はこちら(http://cai-robotics.co.jp/)をご覧いただくか、弊社までお問合せください。

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